按产品线划分的对手名单屹唐半导体三条产品线,各有一群对手。干法去胶设备领域,主要玩家包括韩国比思科、泰仕半导体、日本爱发科、美国泛林半导体。快速热处理设备领域,应用材料一家独大,其他参与者包括国际电气、维易科。干法刻蚀设备领域,泛林半导体、东京电子、应用材料三巨头合计占据83.95%的份额,国内有北方华创、中微公司。各条线上的竞争态势去胶线上,比思科以40.15%的份额领先(2023年),屹唐
同根同源的两种工艺去胶和刻蚀都用等离子体在真空腔里处理晶圆,设备结构有相似之处,外行容易混淆。区别在加工对象和工艺目的上。去胶的目标是光刻胶和残留物,这类有机物和氧气等离子体反应后被分解带走,本质是清扫;刻蚀的目标是硅、氧化硅、氮化硅、金属等无机材料,要按照电路图形把材料刻掉,本质是雕刻。一个除胶,一个刻料。技术要求的差异清扫和雕刻对设备的要求不在一个量级。去胶追求除净率和低损伤,等离子体以化