屹唐半导体 · 产品与解决方案
干法刻蚀设备
提供微纳尺度加工解决方案的高性能刻蚀系统。
快速热处理设备
高精度控制晶圆热处理工艺,优化薄膜性能。
干法去胶设备
半导体制造中用于去除光刻胶的核心技术设备。