东方晶源PanGen Sim严格光刻仿真软件介绍

产品定位

PanGen Sim是东方晶源的严格光刻仿真软件。“严格”二字在光学领域有特定含义：基于严格的电磁场理论求解光刻过程中的光学成像，而不是用简化模型近似。它回答的是光刻仿真中最较真的一类问题。

什么场景需要严格仿真

常规OPC仿真用紧凑模型，速度快，满足量产需求。但在一些边界场景——比如新型掩模结构、三维掩模效应显著的情形、模型标定前的机理研究——简化模型的精度不够。严格仿真从麦克斯韦方程出发计算光与掩模的相互作用，结果更逼近物理真实，代价是计算量大。

与PanGen平台的关系

PanGen Sim与PanGen计算光刻平台同属东方晶源软件产品体系。严格仿真可以为紧凑模型的开发提供基准数据，帮助工程师理解复杂工艺现象背后的物理机理，与平台内的MODEL、OPC等模块形成“快模型跑量产、严模型做研究”的分层配合。

技术背景

东方晶源软件团队采用CPU加GPU混合超算架构和深度机器学习的建模仿真技术。对计算密集的严格仿真来说，GPU加速能力尤为关键。该产品与计算光刻平台、良率管理平台一起，构成公司HPO理念落地的软件三角。

使用群体

严格仿真的主要用户是光刻工艺研发工程师和计算光刻模型开发团队。前者用它研究新工艺现象，后者用它生成模型标定的基准数据。随着国内先进制程研发投入加大，这类研究型工具的需求在增长。东方晶源把PanGen Sim纳入产品体系，也让其计算光刻平台具备了从研究到量产的完整覆盖。