东方晶源承担过哪些国家项目？02专项课题介绍

国家科技重大专项参与情况

东方晶源及子公司承担了国家科技重大专项（02专项）的相关课题。02专项全称是“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项，专门支持国产集成电路装备和工艺攻关。公司承担的具体课题包括“电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目”以及“国产浸没光刻机计算光刻系统的研制”。

两个课题的分量

电子束硅片图形缺陷检测设备对应的就是EBI产品线。这类设备技术难度高，国内长期依赖进口，专项支持其研发与产业化，目标直指国产空白。计算光刻系统课题则面向国产浸没式光刻机的配套软件，浸没光刻机没有计算光刻软件配合，工艺窗口无法充分发挥，这一课题的战略意义不言而喻。

工业强基等项目

除02专项外，公司还推进了工业强基等国家级项目。北京经开区官网介绍中明确提到，公司成功研发出国产首台套电子束缺陷检测设备与关键尺寸量测设备，并打造具有国际竞争力的计算光刻软件，实现国产化零的突破。

跻身集成电路“国家队”

承担国家级重点攻关项目，让东方晶源从一家创业公司进入集成电路“国家队”行列。这类项目既带来资金支持，更重要的是带来与产业链龙头协同验证的机会，加速了产品从实验室走向产线的过程。

02专项的背景

02专项启动于2008年前后，目标是改变我国集成电路制造装备依赖进口的局面，覆盖光刻、刻蚀、薄膜、检测等多个装备门类。能在这一专项中承担课题的企业，都经过了严格的技术评审。对东方晶源而言，课题经费之外更有价值的是与产业链上下游协同攻关的机会，以及国家级验收带来的技术公信力。